真空鍍膜機(jī)是生產(chǎn)光學(xué)濾光片至關(guān)重要的一個(gè)生產(chǎn)設(shè)備，但是真空鍍膜機(jī)的一些參數(shù)變化會(huì)對(duì)濾光片有什么影響呢？深圳納宏光電帶您進(jìn)一步了解。

真空鍍膜機(jī)內(nèi)真空度對(duì)濾光片性能的影響是由于剩余氣體與膜料原子、分子的氣相碰撞所致的能量損失及化學(xué)反應(yīng)。如果真空鍍膜機(jī)內(nèi)真空度低，致使膜料蒸氣分子與剩余氣體分子碰撞幾率增加，蒸氣分子動(dòng)能大大減小，使得蒸氣分子無(wú)法到達(dá)基片，或無(wú)力沖破基片上的氣體吸附層，或勉強(qiáng)能沖破氣體吸附層但與基片的吸附能卻很小，從而導(dǎo)致光學(xué)濾光片器件沉積的膜層疏松，聚積密度低，機(jī)械強(qiáng)度差，化學(xué)成分不純，使得濾光片的膜層折射率、硬度變差。

一般來(lái)說(shuō)隨著鍍膜機(jī)內(nèi)真空度的提高，光學(xué)濾光片膜層的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步改善，膜層的化學(xué)成分變純，但應(yīng)力增大。金屬膜和半導(dǎo)體膜的純度越高越好，它們對(duì)鍍膜機(jī)內(nèi)真空度的依賴性很大，從而需要更高的鍍膜機(jī)內(nèi)真空度受真空度影響的濾光片性能主要有：折射率散射機(jī)械強(qiáng)度和不溶性。