光學濾光片的機械性能是與光學濾光片光學性能同樣重要的產品質量要素光學濾光片包括膜層的硬度和光學濾光片膜層牢固度。

濾光片硬度是由濾光片膜層材料性能和膜層內部結構的緊密程度共同決定的宏觀性能。因此濾光片高硬膜層首先要選用高硬度材料來制造，為濾光片膜層高硬度提供先天條件。當然，更為重要的是濾光片膜層內部結構的緊密程度，即濾光片膜層的填充密度必須達到較高的水平，才能保證由高硬度先天條件材料制造的濾光片膜層仍然是高硬度的。

濾光片牢固度是指膜層對于基片的附著的黏接程度。濾光片牢固度主要由膜層與基片之間結合力的性質來決定，化學鍵力的結合要比物理性質的范德華力的結合牢固得多。此外，還受到基片表面的清潔程度和成膜粒子的遷移能，特別是與注入效應有關的遷移能分量的大小的影響。帶電離子沉積技術，如濺射、離子鍍、離子輔助鍍，都獲得了比單純用熱蒸發工藝有強的膜層牢固度的實驗結果已經充分證實了注入效應對于提高膜層牢固度的重要作用。

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